تحديد الشروط المناسبة لترسيب أيونات النتروجين الصادرة عن البلازما المحرقية الكثيفة ضمن التيتانيوم

الملخص

تمّ في هذا البحث إجراء محاكاة لتحديد شروط ترسيب أيونات النتروجين صادرة عن جهاز البلازما المحرقية الكثيفة UNU ICTP PFF (2.2 kJ) ضمن ركيزة التيتانيوم للحصول على الفلم الرقيق TIN. تمّ أولاً باستخدام كود Lee تحديد خصائص حزمة الأيونات الصادرة بعد انهيار قبضة البلازما وذلك عند تغيّر ضغط الغاز حيث كانت أعلى طاقة للحزمة 9.1 J عند الضغط 0.7 Torr والعدد الأعظمي للأيونات 1.96´10¹² ions عند 1.9 Torr، ثم حساب أعلى طاقة يحملها أيون النتروجين 635.3237 keV. ثانياً تمّ تحديد المسافة المطلوبة لوصول الأيونات التي تحمل هذه الطاقة إلى ركيزة التيتانيوم تحت ظروف الضغط الجوي، أظهرت النتائج أن ركيزة التيتانيوم يحب أن تكون على بعد أقل من 0.1 µm من القبضة وذلك لضمان وصول أيونات النتروجين وأي مسافة أكبر ستؤدي إلى تخامد حزمة الأيونات ضمن الهواء.